换句话说,光刻机所需的反射镜精度必须打磨到万亿分之一米。
盛明安:“用硅和钼反复镀膜,直到光线利用率达到国际标准。”
当下有?人反驳:“都是?纳米级镀膜,反复镀膜也会影响精度,工艺太难了?!”
难度多大?
最浅显易懂的比喻便是?将一面直径不?超过四十厘米的反射镜放大至覆盖地面,其平面起伏不?能超过一根头发的直径。
而光刻机所需的反射镜多达四五十层,平面精度一层比一层要求更平整。
全球只有?德国蔡司这家传承三?代?以上的企业才造得出这种反射镜。
当然,反射镜不?对华出口。
盛明安:“不?用担忧反射镜能不?能被打磨出来,你们只需要尽己所能考虑反射镜在光的收集和转化率这一单元里,能够被如何利用到极致。”
“数据、模型,不?管失败成功,统统记录下来。”
盛明安语速打机关枪似的,斩钉截铁、不?容置喙,仿佛难度高到爆表的光源系统在他眼里层次分明、井然有?序,所有?的技术难点都可以被轻松解决。
他胸有?成竹,心有?沟壑。
他不?必开口安慰,只要用平淡轻松的口气下达每一道指令就能安定实验室每个?人退怯、不?自信的心。
“杜颂,打开你的modelica先进?行?初步的超精密激光器建模仿真。”
modelica是?一款可实现复杂的物理系统仿真建模的计算机语言软件,可用于光刻机某些超精密部件的仿真建模。
杜颂:“已在创建。”
他领着自己小组成员低头忙碌。
“雷客,你调整一下光路结构。”
“好。”雷客示意助手打开opc(光学邻近矫正)软件,通过模型动态仿真结果?计算查找表修正光与图案。
盛明安匍匐在桌案,设计市场需求的激光光源,就目前的技术发展而言,光刻机激光光源仍以激光等离子体为主。
驱动光源产生的碎屑数量,光谱纯度,每提高一个?技术节点消耗的功率和产能……其实日前最先进?的euv,其功率消耗大、产能低,再过五六年也未能完美解决这两个?问题。
可盛明安不?清楚。
他虽不?愿用前世记忆盗窃他人成果?提前制造出国产光刻机,可前世是?他完美解决euv产能低的问题,因?此习惯性顺手将这难题归入待解决列表之一。
以至于后来一举攻破该技术节点实现反超asml目标,实属意料之外。
***
15年5月份左右,国际半导体发生了?一件大事。
asml官网对外发布突破光刻机量产瓶颈,正式对外售出可量产14nm极紫外光刻机!
此举瞬间激起千层浪,全球各界媒体报道不?休,半导体发烧友热闹得跟过年一样纷纷发表讨论。国内贴吧、技术论坛和逼乎新帖不?断,基本都是?讨论asml这一举措将带来怎么?的影响。
【光刻巨人:asml真正的崛起!】
国内科技网对asml的新闻标题被搬到国内电子发烧友论坛,论坛主搬来这标题就已经表明了?他对未来全球半导体地位的划分认可。
【如标题所说,从今以后,asml是?唯一的光刻巨人!】
【佳能、尼康的时?代?消失了?,光刻机百花齐放共竞争的时?代?一去不?复返,将来只有?asml一骑绝尘的身影!】
【虽然不?想承认,但欧美又在一个?重要的领域里实现了?科技霸权!】
【诸位,配合英特尔、高通今年年初发布的将于15年实现14nm核心处理器、年末实现10nm核心处理器的新闻发布会食用,而国产光刻机还停留在365nm光波长的第三?代?光刻机技术节点!】
【拉开了?两代?,落后二十年。】
【华国被死死扼住半导体产业的喉咙……】
【感到窒息。】
另一个?贴没有?这么?丧气,但基本是?在吹asml,回顾asml的历程,曾经也不?过是?个?半生不?死的小公司……
【谁还能记得曾经的asml濒临倒闭?】
【那时?候的尼康和佳能才是?霸权半导体领域的大佬,可惜封杀了?台积电林大佬的浸润技术emmmm结果?最后被asml捡漏。】
【asml的崛起之路从这一步开始[滑稽]。】
【命运真是?奇妙,谁能料到最后会是?名不?见经传的阿斯麦尔抢先一步研发出第五代?光刻机?】
【小声插一句,我国有?机会研发14nm光刻机吗?】
【??asml肯卖给我们一台euv就偷笑?了?,还自主研发?做梦呢!】
【肯定告诉你:有?!二十年后!】
【不?过那个?时?候的半导体可能已经发生翻天覆地的变化,摩尔定律失效,现有?的光刻机技术臻至极限不?再寸进?,或许出现了?新的机器替代?光刻机,量子定律取代?摩尔定律……我们再次被甩开二十年。】
【也不?必这么?悲观,或许二十年后,华国光刻机技术实现超英赶美。】
【摩尔定律没那么?轻易被取代?,你以为重新诞生一个?定律很容易?】
【盛神不?是?解决了?量子纠错的难题吗?很多人深受鼓舞,投入量子课题研究。只要某个?领域天才成群结队而来,天大的难题被解决也只是?时?间的问题。】
……
【怎么?跑题了??】
【说回正题,祈祷美帝不?会一个?看?我们不?爽就对我们实行?芯片制裁吧。】
【什么?意思?】
【asml控股大头是?美帝公司!】
蓝河科技。
林成建步伐匆匆进?入研发部的休息室,室内盛明安和陈惊璆都在,还有?雷客、杜颂等人,他们一边吃中午饭一边继续商讨研究项目。
“看?到最新消息没有??”
盛明安:“asml euv发布会。”
“对!”林成建坐下来擦汗,接过雷客倒来的水说:“现在全球订单飞向asml,一台售价1.2亿美金,订单排到了?18年。”
光刻机工艺复杂,就算是?asml一年也只能造出十几?台。
“华芯的人也去下订单。”
杜颂急问:“怎么?样?”
盛明安不?用问也知道结果?,陈惊璆则安静的挑出碗里的辣子鸡块规整放到一旁的饭盒盖上,然后推给盛明安。
陈惊璆:“我不?吃辣。”
盛明安抬眼,扫了?眼他那碗几?乎没动过的辣子鸡,相?信了?。
辣子味道又香又麻不?呛喉咙,鸡肉嫩滑多汁,吸收了?辣子的香味,吃起来很刺激舌尖。
盛明安很喜欢,他说:“谢谢。”
陈惊璆笑?看?着他。
对面一姑娘来回看?两人,心想盛神跟老板太基了?吧。
林成建:“被拒绝了?。”
杜颂:“艹!”
其他人心情激愤却也无可奈何,谁让他们的技术就是?落后人家十几?二十年?
落后活该挨打呗。
欧美各国遵守的《瓦森纳协议》就是?专门针对禁止对华输入高阶精密科学仪器和技术,asml不?敢违背协议,自然拒绝对华销售euv。
没有?euv,他们还得从台积电,从英特尔、高通等美帝企业那儿购买芯片,巴巴送钱过去看?人脸色。
休息室众人情绪低沉,盛明安察觉不?到,自顾自吃饭,吃完了?就拿起手边的热水慢吞吞喝两口解腻,浑身通透的舒服。
第65章 星晓[12] 方案可行。
杜颂鼓起勇气?问盛明安:“盛神,我们多久能够研发出高阶光刻机?”
盛明安:“短则一两年,长则四五年。”
杜颂失望:“这么久?!”
盛明安疑惑:“asml花六年时间才验证euv方案可行,之后耗费十来?年时间才研发出可量产的高阶光刻机。我们刚起步,难道?两三年还不够快?”
“呃……”杜颂挠头,不好意思的笑笑:“我太心急了?。”
下一刻,他变了?脸色,着急询问:“那我们两三年内能研发出国产14nm光刻机吗?”
盛明安环顾在场众人,这才发现?他们难掩焦虑和颓靡,结合他们刚才的讨论?,猜出杜颂心急的原因,沉吟片刻便说道?:“华国2002年就把攻克光刻机列入863计划,08年又启动了?02专项计划,我们起步慢,但也有了?十几年的沉淀和铺垫。”
他说到此?处停下,一一看向在场的每个人:“相信每一个生?在这个国家的科学家,他们仍然在努力,日?复一日?攻克光刻机的‘八十一道?’难关。相信你们自己,你们手中的光源系统项目虽然目前看不到成?效,但你们每解决的一个小问题、一个数据,都在朝高阶国产光刻机的方向前进。”
物理科研本来?就是量变引起质变的一门学科,前人积年累月的研究,推动人类社会一步又一步靠近真理大门,最终汇聚成?一场掀动科技革命的飓风。
“总有一天,你们现?在所做出的努力都会得到满意的回报。”
其他人有些动容,坐盛明安前面的助理姑娘小声说:“其实我们这几个月来?的努力不是没成?果,至少光路结构里各种镜头组件调整是越来?越熟练,也越来?越精准。”
姑娘被分配到雷客小组,负责光刻机镜头组件光路调整。
她开了?口,大家纷纷开口,也都说自己小组负责的项目成?果,虽然没有实现?奇迹般的大跨越,但是都有在进步。
每个项目研发过程遇到的成?千上百个小问题都被他们一一解决,这么说来?,他们也不是完全没有收获。
这么想着,众人低迷的情?绪逐渐高涨,互相加油打气?。
“盛神说得对!人家asml花了?多少时间、人力和财力才造出一台euv,我们这才哪到哪啊!”
“我们造不出euv,日?韩德英美也造不出来?!”
“但他们买得到。”
“谁跟我这儿?涨敌人威风灭自己人士气?的?给我掌嘴。”
说丧气?话的同事很快被身边人按压在桌,众人笑闹了?一阵,打起精神回实验室继续研发,至于?午休时间就算了?。
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